10nm精度！又一国产芯片设备打破国外垄断，有了从0到1突破

众所周知， 芯片制造需要几百种设备，而目前芯片设备，我们大约80%靠进口，只有20%能国产，为何国产率这么低呢？

先给大家上一张图，给大家看看目前国产芯片设备，特别是精度情况，大家就明白了。

如上图所示，这是目前国内芯片设备在主要工艺流程中的精度表，可以看到，我们的设备可以覆盖几乎全套45nm，但到了28nm时，就有一些设备不行了。

越先进的工艺，能够覆盖到的国产设备越少，到5nm时，甚至只有一家企业中微的刻蚀机了，可见国产设备大约聚焦在45nm及更成熟的工艺上，这也是为我们进口率居高不下的原因，因为一定需要先进一点的，就要进口。

所以一直以来，国内的芯片设备企业们，就不在断的突破，一是争取生产更多的设备类型，二是提高工艺精度，从而减少对国外的依赖，提高自给率。

而近日，传出消息，那就是在检测领域，国产芯片设备突破了，国产芯片检测设备企业，中科飞测的先进制程明场纳米图形晶圆缺陷检测设备，出货头部客户！

这种设备的型号是REDWOOD-900，可以支持10nm及以下芯片的检测，这也是国内最先进的检测设备了。

并且，这种明场纳米图形晶圆缺陷检测设备，是填补了国内空白的存在，真正打破了国外长期以来的垄断地位。

按照报道，这种设备可以适配FinFET、GAA等先进晶体管技术，还可以用于3D NAND 堆叠层检测，在以前，这种14nm以下的设备，只有美国科磊等企业才有，如今中国也有了。

当然，中科飞测研发出这样的设备真不容易，数据显示，2024 年研发费用同比大增 118.17%，占营收比重达 36.07%，这个比例在国内所有企业中，都是名列前茅的，可见还是肯投入，敢研发，才能在这种科技领域上，取得突破。

接下来，希望国产芯片企业们，多支持国产芯片设备，而国产芯片设备企业们多突破，多推出好的产品，这样形成一个正向循环之后，我们的芯片设备自给率才能提升，国产芯片设备才能真正崛起，减少对外进口，避免被卡脖子。

发布于：湖南

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