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国产12英寸低温离子注入机顺利出机！

来源：晰数塔互联网快讯时间：2025年07月15日 22:13

（来源：第三代半导体产业）

7 月 14 日，华海清科全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台 12 英寸低温离子注入机 iPUMA-LT 顺利出机，发往国内逻辑芯片制造龙头企业。这标志着华海清科实现先进制程大束流离子注入机各型号全覆盖，是上海在半导体高端装备领域的重要突破。

该 12 英寸设备性能达国际主流水平，采用自主研发的国产化温控系统等技术，解决晶格缺陷修复难题，支持先进制程研发量产。华海清科的离子注入装备可满足逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS 及硅片制造等领域需求，其大束流系列已获客户认可。

作为领军企业，华海清科深化 “装备 + 服务” 战略，产品涵盖 CMP、减薄、划切、湿法、离子注入等装备，提供晶圆再生等服务。此次 iPUMA-LT 出机，是其布局高端离子注入装备的重要里程碑，推动半导体装备国产化进程。

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