华大智造申请流体供应装置和流体控制方法专利，实现流体的选择性连通

本文源自:金融界

金融界2024年3月29日消息，据国家知识产权局公告，深圳华大智造科技股份有限公司申请一项名为“流体供应装置和流体控制方法“，公开号CN117778175A，申请日期为2022年9月。

专利摘要显示，本公开提供了一种流体供应装置，包括：载台，形成有芯片接纳区；选择器阀，固定至所述载台；和形成于所述载台中的流路网络。所述流路网络包括：多个引流针端口，位于所述载台的与所述芯片接纳区相反的一侧；多个入口端口，布置成以一一对应关系与所述多个引流针端口间隔开；多个分支流道，每个分支流道连通于相应的引流针端口与相应的入口端口之间，且配置成从相应的引流针端口输入的流体引导至相应的入口端口；和公共流道，连通于所述出口端口与芯片接纳区之间，且配置成将所述出口端口输出的流体引导至所述芯片接纳区。所述选择器阀被配置成切换与所述多个分支流道对应的所述多个入口端口中的至少一个与所述出口端口之间的选择性连通。

发布于：北京

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